Semiconductor manufacturing is foar in grut part in gemysk besibbe proses, mei oant 20% fan 'e proses stappen skjinmeitsjen en wafel oerflak tarieding:
Wy binne wend om te ferwizen nei de gemyske materialen dy't brûkt wurde yn wafelfabrikaasje as prosesgemikaliën, dy't komme yn ferskate gemyske foarmen (floeiber en gasfoarmich) en wurde strikt kontrolearre yn suverens.De wichtichste funksjes fan dizze prosesgemikaliën binne as folget:
Skjinmeitsje it wafel oerflak mei wiete gemyske oplossing en ultrapure wetter;
Doping silisium wafers mei hege-enerzjy ioanen te krijen P-type of N-type silisium materialen;
Deposition fan ferskate metalen dirigint lagen en needsaaklike dielectric lagen tusken dirigint lagen;
Generearje in tinne SiO2 laach as de wichtichste poarte dielectric materiaal fan MOS apparaten;
Brûk plasma fersterke etsen of wiete reagenzjes om selektyf materialen te ferwiderjen en it winske patroan op 'e film te foarmjen;
Flüssige reagens mei hege suverens wurde yndield yn trije graden: UP-S, UP, en EL neffens har suverens, en EL is fierder ferdield yn:
Elektroanyske klasse 1 (EL-Ⅰ)
hat in metalen ûnreinens ynhâld fan 100-1000 PPb, dat is lykweardich oan de SEMI C1 C2 standert;
Elektroanyske klasse 2 (EL-Ⅱ)
syn metalen ûnreinens ynhâld is 10-100 PPb, lykweardich oan SEMI C7 standert;
Elektroanyske klasse 3 (EL-Ⅲ)
hat in metalen ûnreinens ynhâld fan 1-10 PPb, dat is lykweardich oan de SEMI C7 standert;
Elektroanyske klasse 4 (EL-IV)
hat in metalen ûnreinens ynhâld fan 0,1-1PPb, dat is lykweardich oan de SEMI C8 standert;
Ultra-skjinne en hege suverens reagents binne ynternasjonaal bekend as proses gemikaliën, ek wol bekend as wiete gemikaliën, en binne ien fan de wichtichste basale gemyske materialen yn it produksjeproses fan yntegrearre circuits (IC) en hiel grutskalige yntegreare circuits (VLSI) .It wurdt ek brûkt foar skjinmeitsjen en etsen fan silisium wafer oerflak.De suverens en skjinens fan ultra-skjinne en hege suverens reagents hawwe in tige wichtige ynfloed op de opbringst, elektryske eigenskippen en betrouberens fan yntegrearre circuits.D'r binne in protte farianten fan gemikaliën fan elektroanyske kwaliteit en hege technyske easken.It is basearre op 'e ûntwikkeling fan mikro-elektroanyske technology.Mei de ûntwikkeling fan mikro-elektroanyske technology ûntwikkelet it syngroan as foar de tiid.Tagelyk beheint it de ûntwikkeling fan mikro-elektroanyske technology.
Post tiid: Jun-23-2022
